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氮化硅是一組具有高強度、斷裂韌性、硬度、耐磨性和良好的化學和熱穩定性的先進工程陶瓷板。由于具有優異的性能組合，氮化硅陶瓷基板用于各種結構應用，氮化硅陶瓷基板下游廣泛應用于電源模塊、散熱片、LED、無線模塊等。雖然氮化硅陶瓷基板是一種燒結時不會收縮的無機材料陶瓷，但是無論是燒結亦或者流延成型，都容易受到環境因素影響導致其平面度以及翹曲度超出公差值，從而影響后續的切割以及投入使用。一般的測量方法如使用百分表、塞尺一類工具施以外力氮化硅陶瓷基板就會很容易斷裂或者出現劃痕，更不用說使用這類測量工具無法滿足氮化硅陶瓷基板平面度以及翹曲度的高精度標準，所以極志激光平面度測量儀成了氮化硅陶瓷基板測量平面度以及翹曲度的不二之選。
激光平面度翹曲度測量儀屬于非接觸式測量，保護氮化硅陶瓷基板免受劃痕或者斷裂等瑕疵的困擾。多激光平面度測量儀可以一次多工件快速測量，高精度無損測量的同時還具有快速的特性，緩解陶瓷基板工廠的生產壓力。除此之外，還可實現對平面的多點掃描或線掃描，一次性數據采集后通過軟件計算，實時給出平面度平整度、翹曲度誤差測量判定，將人性化與智能直接展現在氮化硅陶瓷基板平面度以及翹曲度的測量上。
極志有多年的工件平面度、翹曲度、平整度等外形尺寸測量設備定制經驗，可為您的工件定制專用設備，如有需求歡迎致電極志全國服務熱線：020-83515319
