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LTCC是將低溫燒結陶瓷粉制成厚度準確致密的生瓷帶。采用激光打孔、微孔灌漿、精密導漿印刷等工藝，將多個無源設備嵌入壓力下，在1000℃以下燒結，表面可安裝IC和主動器件，形成LTCC無源/有源集成功能模塊。LTCC的可靠性難點很多，影響著多層金屬化布線的質量，基材與接線共燒時的收縮和熱膨脹系數的匹配問題就成為研究的重點。LTCC共燒過程中，基底與漿料的燒結特性不匹配主要表現在三個方面：①燒結致密化完成溫度不一致；②基材與漿料燒結收縮率不一致；③燒結致密化速度不匹配。這種不匹配易造成燒成后表面不平整、翹曲等問題，隨之而來的是分層和金屬布線粘合強度降低，所以LTCC需要使用激光翹曲度測量儀進行翹曲度測量，保證其功能性。
如果還是使用百分表、塞尺一類工具施以外力LTCC陶瓷工件就會很容易斷裂，極志激光平面度測量儀屬于非接觸式測量，保護LTCC陶瓷工件免受劃痕或者斷裂等瑕疵的困擾。多激光平面度測量儀可以一次多工件快速測量，高精度無損測量的同時還具有快速的特性，緩解工廠的生產壓力。除此之外，還可實現對平面的多點掃描或線掃描，一次性數據采集后通過軟件計算，實時給出平面度平整度、翹曲度誤差測量判定，將人性化與智能直接展現在LTCC陶瓷工件翹曲度的測量上。
極志有多年的工件平面度、翹曲度、平整度等外形尺寸測量設備定制經驗，可為您的工件定制專用設備，如有需求歡迎致電極志全國服務熱線：020-83515319
