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雙激光測量晶圓厚度,精度和效率兩手抓

返回列表 來源:極志測量 瀏覽:- 發(fā)布日期:2021-11-26 20:36:02【

我國是全球大的集成電路市場,市場占比接近五成,集成電路的基材“晶圓”存在巨大的產能缺口,也就是說晶圓的大量需求都要由進口滿足。晶圓需求上漲,晶圓制造企業(yè)感受到需求以及效率不對等的壓力,其中晶圓的厚度測量成為了相關企業(yè)的制作難點之一。因為制備的過程中,晶圓需要抵受機械應力,所以晶圓的厚度一般都有需求,晶圓的直徑越大,重量就會越重,所需的厚度也會越大。因為晶圓經過切片之后厚度精度需要達到μm級,加上不能接觸晶圓進行拋光工序之后的表面,不然晶圓表面被劃傷質量等級就會下降,所以晶圓厚度測量需要使用雙激光非接觸厚度測量儀進行測量。

測量晶圓厚度

極志上下激光厚度測量儀采用上下兩套進口激光測量系統,非接觸式的測量方法避免了晶圓在厚度測量的過程中受到損傷。同時高精度激光厚度測量儀是針對晶圓片厚度檢測等不透明、高精度工件厚度尺寸的快速檢測所設計,可單點測量,也可以多點測量,保證測量數據精度高、測量速度快等特點,十分適用于晶圓制備企業(yè)進行厚度測量工序,如有需求歡迎致極志服務熱線:020-83515319

上下激光測厚儀

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  • 研發(fā)中心:廣東省東莞市恒祥工業(yè)園(擔嶺水路東)

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