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光罩是高精密度的石英平板，是用來制作晶圓上電子電路圖像，以利集成電路的制作。光罩必須是完美無缺，才能呈現完整的電路圖像，否則不完整的圖像會被復制到晶圓上。傳統的瑕疵檢測方式對于光罩等一類高新科技工件顯得力不充心，人工瑕疵檢測方式效率低且容易出現漏檢錯檢等問題。光罩瑕疵檢測儀則是結合影像掃描技術與先進的影像處理技術，捕捉圖像上的缺失。 當光罩從一個制程往下個制程進行時，瑕疵檢測系統可用來檢測出晶圓上是否有瑕疵包括有微塵粒子、斷線、短路、以及其它各式各樣的問題。
光罩瑕疵自動檢測儀采用高清成像技術和的機器視角算法，將光罩表面輪廓生成出彩色圖像在經由算法匹配來獲得精確的檢測結果，整個過程可以自己調整檢測精度的范圍，系統會自行判定OK或是NG。瑕疵檢測儀可將檢測光罩各類瑕疵一并完成，實現一機多用，而且本設備采用的是流水線設計，連接生產傳送帶后就能實現自動化檢測，無論是靜止狀態還是快速流水線通通適用，幫助光罩制造企業快速檢測產品瑕疵解決漏檢以及效率問題。
極志瑕疵檢測系統可根據需求進行配置的更改以及尺寸的定制，如果您的工件有瑕疵檢測的需求歡迎致電極志全國服務熱線：020-83515319
