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提升硅片瑕疵檢測效率,機器視覺代替人工|瑕疵檢測儀

返回列表 來源:極志測量 瀏覽:- 發布日期:2022-06-08 22:38:47【

硅片作為芯片的基材,其制備工藝的高低就足以影響芯片封裝等一系列后續工序,所以硅片的光潔度要求極高,否則稍有嚴重一點的瑕疵都會導致芯片報廢。硅片的瑕疵可以大致分為幾類:線痕、崩邊、碎片、裂紋、孔洞、孿晶、亮線、油污、脫落、鋸痕、臺階等等,每一樣外觀瑕疵都是由制作工藝所導致,只有通過外觀檢測才能察覺并進行對應工藝的改進。傳統的硅片檢測都是靠人工在顯微鏡下一片片仔細觀察得知,對于稍微嚴重的瑕疵能很好的觀察,細微的瑕疵則容易因為檢測人員的質素不同而出現漏檢、誤檢等等,整個檢測工序嚴重受環境因素所影響,所以硅片瑕疵檢測使用自動瑕疵檢測儀才會更加得心應手。

傳統硅片瑕疵檢測

硅片瑕疵自動檢測儀采用高清成像技術和的機器視角算法,將硅片表面輪廓生成出彩色圖像在經由算法匹配來獲得精確的檢測結果,整個過程可以自己調整檢測精度的范圍,系統會自行判定OK或是NG瑕疵檢測儀可將檢測硅片各類瑕疵一并完成,實現一機多用,而且本設備采用的是流水線設計,連接生產傳送帶后就能實現自動化檢測,無論是靜止狀態還是快速流水線通通適用,幫助硅片制造企業快速檢測產品瑕疵解決漏檢以及效率問題。

極志瑕疵檢測儀2

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