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激光測量晶圓厚度,無損快速|激光厚度測量儀

返回列表 來源:極志測量 瀏覽:- 發布日期:2022-01-30 22:05:37【

我國是全球大的集成電路市場,市場占比接近五成,集成電路的基材“晶圓”存在巨大的產能缺口,也就是說晶圓的大量需求都要由進口滿足。近年得益國家的推動和市場的增長,晶圓制造業開始蓬勃發展。5G時代,芯片技術一直是我國短缺的重要技術,越來越多的企業意識到這一點,紛紛開始研發帶有知識產權專利的芯片產品,晶圓需求也同步上漲,晶圓制造企業感受到需求以及效率不對等的壓力,其中晶圓的厚度測量成為了相關企業的制作難點之一。

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在晶圓經過切片之后厚度精度達到了μm級,而且精度要求非常之高。加上不能接觸晶圓進行拋光工序之后的表面,不然晶圓表面被劃傷質量等級就會下降,這讓企業在測量晶圓厚度時非常頭痛,因此晶圓厚度測量需要使用雙激光非接觸厚度測量儀進行測量。厚度測量儀采用上下兩套進口激光測量系統,非接觸式測量方法,防止刮傷產品,可單點測量,也可以多點測量,保證測量數據精度高、測量速度快等特點。極志的高精密工件厚度測量儀針對晶圓片厚度檢測等不透明、高精度工件厚度尺寸的快速檢測。

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