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晶圓厚度雙激光快速測量,半導(dǎo)體行業(yè)得力助手

返回列表 來源:極志測量 瀏覽:- 發(fā)布日期:2024-01-12 23:30:12【

我國是全球大的集成電路市場,市場占比接近五成,集成電路的基材“晶圓”存在巨大的產(chǎn)能缺口,也就是說晶圓的大量需求都要由進(jìn)口滿足。近年得益國家的推動和市場的增長,晶圓制造業(yè)開始蓬勃發(fā)展。5G時代,芯片技術(shù)一直是我國短缺的重要技術(shù),越來越多的企業(yè)意識到這一點(diǎn),紛紛開始研發(fā)帶有知識產(chǎn)權(quán)專利的芯片產(chǎn)品,晶圓需求也同步上漲,晶圓制造企業(yè)感受到需求以及效率不對等的壓力,其中晶圓的厚度測量成為了相關(guān)企業(yè)的制作難點(diǎn)之一。


晶圓厚度測量

在晶圓經(jīng)過切片之后厚度精度達(dá)到了μm級,而且精度要求非常之高。加上不能接觸晶圓進(jìn)行拋光工序之后的表面,不然晶圓表面被劃傷質(zhì)量等級就會下降,這讓企業(yè)在測量晶圓厚度時非常頭痛,因此晶圓厚度測量需要使用雙激光非接觸厚度測量儀進(jìn)行測量。厚度測量儀采用上下兩套進(jìn)口激光測量系統(tǒng),非接觸式測量方法,防止刮傷產(chǎn)品,可單點(diǎn)測量,也可以多點(diǎn)測量,保證測量數(shù)據(jù)精度高、測量速度快等特點(diǎn)。極志的高精密工件厚度測量儀針對晶圓片厚度檢測等不透明、高精度工件厚度尺寸的快速檢測。

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