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晶圓表面光潔度檢測(cè)，流水線自動(dòng)完成不費(fèi)眼

來源：極志測(cè)量瀏覽：- 發(fā)布日期：2023-06-27 22:43:21【大中小】

晶圓是通過硅錠一片片切割而來，，本文主要講述晶圓在切割后產(chǎn)生的光潔度會(huì)受到什么影響，以及如何檢測(cè)。晶圓在切割完成后需要進(jìn)行移動(dòng)以及保存，在操作的過程中如果保護(hù)措施未做足就很容易在其表面留下劃痕或者污漬，還有可能在加工時(shí)在晶圓表面留下一些塵屑和污漬，這會(huì)導(dǎo)致晶圓會(huì)被誤判為不良品或者繼續(xù)使用后發(fā)生不良情況。晶圓可以進(jìn)行后續(xù)的修復(fù)工序，但是如何檢測(cè)晶圓的表面光潔度則成為了一個(gè)大問題，用人工檢測(cè)的方式會(huì)花費(fèi)大量的時(shí)間以及精力，所以使用自動(dòng)檢測(cè)系統(tǒng)進(jìn)行晶圓表面的光潔度檢測(cè)勢(shì)在必行。

晶圓表面光潔度檢測(cè)

極志光潔度瑕疵檢測(cè)機(jī)采用的是流水線設(shè)計(jì)，可以手動(dòng)調(diào)節(jié)檢測(cè)速度，配合晶圓加工生產(chǎn)線完成自動(dòng)化檢測(cè)，還可以根據(jù)實(shí)際需求調(diào)節(jié)晶圓瑕疵的檢測(cè)精度完成不同的瑕疵同時(shí)檢測(cè)的要求。光潔度檢測(cè)系統(tǒng)采用的機(jī)器視覺算法，將工件的物體輪廓由工業(yè)相機(jī)形成彩色圖像，面特征數(shù)字建模抽取全部邊緣輪廓，進(jìn)行分析工件表面特征機(jī)器視覺算法匹配直接輸出NG或OK信號(hào)，對(duì)比傳統(tǒng)的人工檢測(cè)節(jié)省大量的時(shí)間與精力。