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石英光罩業內又稱光掩模版、掩膜版，英文名稱MASK或PHOTOMASK，光罩的功能就是利用光刻機發出的光通過具有圖形的光罩對涂有光刻膠的薄片曝光，這就是光刻的作用，類似照相機照相。照相機拍攝的照片是印在底片上，而光刻刻的不是照片，而是電路圖和其他電子元件，通俗來講光刻機就是放大的單反，光刻機就是將光罩上的設計好集成電路圖形通過光線的曝光印到光感材料上，形成圖形。光罩的作用如此重要，所以其表面平面度的檢測需求也非常高，一般的測量工具并不符合光罩的精度需求，使用接觸式測量方式還有可能對光罩表面形成劃痕等瑕疵，所以極志激光平面度測量儀是測量光罩平面度的理想選擇。
激光平面度測量儀相較于通用型測量工具明顯的優點就是：①精度高②無損③效率高。激光平面度平整度測量儀通過高精度激光測頭對工件表面進行掃描取點，以獲取工件表面的輪廓數據，再以此做平面度及翹曲度計算，無論是抽檢或是全檢皆適用，只需要預設好平面度、翹曲度、平整度等數據的監控值，測量完成后就會在屏幕上直接觀看當前工件NG/OK以及詳細數據。激光平面度測量儀的高運算快速測量的特性使得測量一片工件只需要0.5秒，對比傳統的平面度測量方法大大縮減了用時，幫助光罩制造業快速提升產業鏈。
極志有多款適用于芯片行業的測量設備，可根據您的實際需求進行配置以及尺寸的更改，如果您的工件有測量設備的需求歡迎致電極志全國服務熱線：020-83515319
