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玻璃晶圓絲印油墨厚度如何做到高精度無損測量?

返回列表 來源:極志測量 瀏覽:- 發布日期:2024-05-09 22:18:34【

玻璃晶圓油墨厚度測量

玻璃晶圓用于各種集成電路 (IC) 封裝應用,作為基板提供更好的性能和成本效益。玻璃通孔 (TGV) 和晶圓級玻璃封蓋 (WLC) 是改進的封裝解決方案,可提供增強的技術性能,這要歸功于特定的玻璃特性,包括低于 0.5 nm rms 的剛度和粗糙度玻璃可保護 IC 免受沖擊和腐蝕,同時保持將其連接到外部電路的合同引腳和引線。

   玻璃晶圓由于工藝的要求,不同的廠家會在玻璃晶圓表面絲印油墨,油墨顏色各不相同,比如透明的、白色的、黑色等等,油墨有分單層和雙層,油墨膜厚從3-30微米不等,油墨厚度是否均勻對后續的工序尤為重要,大部分客戶目前用接觸式測頭的粗糙度測量儀進行接觸式檢測膜厚,此辦法只適合測量干燥狀態的膜厚,剛絲印潮濕狀態下的膜厚是測量不到的,并且接觸式易刮花產品表面,這點讓許多客戶相當苦惱。

為了解決以上客戶難題,極志公司專門研制出一款高精度、高性價比的非接觸油墨厚度測量儀(如圖1),其采用白光光譜共焦位移傳感器,搭載高精度操作工作臺,高分辨率可達納米級。可穩定精確測量晶圓玻璃油、手機玻璃、汽車玻璃、薄膜等工件表面油墨及涂層厚度。

油墨厚度測量儀

1

玻璃晶圓油墨厚度測量2

設備優勢特點:

1、非接觸式測量,干濕狀態均可。

2、超高分辨率,最高可達納米級。

3、快速掃描測量,軟件呈現二維圖形,能直觀顯示油墨表面情況,快速測量出厚度值并保存報表(如圖2)

4、軟件界面簡潔,操作簡單易上手。

油墨厚度測量儀數據

極志油墨厚度測量儀 非接觸進行對晶圓玻璃表面掃描測量,不管是干濕膜厚都能在不損壞產品表面基礎上進行高精度測量(根據激光傳感器類型不同,精度和量測范圍也有差異,精度最高可達0.03微米)軟件界面簡潔,操作簡單,新進員工都能迅速上崗使用。

極志可根據實際測量產品進行配置以及尺寸的定制,如有工件的外形尺寸測量需求歡迎致電極志全國服務熱線:020-83515319

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  • 研發中心:廣東省東莞市恒祥工業園(擔嶺水路東)

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